Izdelki
5 mikronski filtrirni vložki za prah iz nerjavečega jekla z vmesniki VCR 1/2"
Velikost: φ40*196,3 mm
Natančnost filtra: 5 mikronov
Vmesnik: VCR1/2"
Filtrirni vložki iz prahu iz nerjavečega jekla z vmesniki VCR 1/2" so kritične komponente v proizvodnji polprevodnikov, posebej zasnovani za-distribucijske sisteme plina visoke čistosti. Ti filtrirni vložki uporabljajo napredno tehnologijo sintranja kovinskega prahu za doseganje natančne filtracije, ki učinkovito zajema delce, majhne kot 5 mikronov. To zagotavlja dovajanje ultra-čistih procesnih plinov, ki so bistveni za vzdrževanje celovitost občutljivih procesov izdelave polprevodnikov. Vmesnik VCR 1/2" zagotavlja neprepustno -kovinsko tesnilo, ki izpolnjuje stroge zahteve polprevodniških okolij, kjer lahko že najmanjše nečistoče plina povzročijo znatne napake v mikroelektronskih napravah. Njihova robustna konstrukcija iz korozijsko-odpornega nerjavečega jekla zagotavlja vzdržljivost in dolgoročno-zanesljivost v ekstremnih pogojih.
V polprevodniških aplikacijah imajo ti filtrirni vložki ključno vlogo pri zaščiti nadaljnjih naprav, kot so krmilniki masnega pretoka in natančni ventili, pred kontaminacijo z delci. Z brezhibno integracijo v obstoječe-plinske vode visoke čistosti poenostavijo namestitev in vzdrževanje, hkrati pa zmanjšajo čas izpada sistema. Zaradi kombinacije visoke učinkovitosti filtracije, izjemne kemične odpornosti in zanesljivega tesnjenja so nepogrešljivi za zagotavljanje dosledne čistosti plina in učinkovitosti delovanja v naprednih obratih za proizvodnjo polprevodnikov.
Specifikacije izdelkov

Material: 316L prah
Velikost: φ40*196,3 mm
Natančnost filtra: 5 mikronov
Vmesnik: VCR1/2"
Tehnično: Sintranje
Lastnosti izdelkov

1. Ultra-visoka čistost in zadrževanje delcev
- Struktura iz sintranega nerjavečega jekla (običajno 316L) zagotavlja čist, popolnoma kovinski filtrirni medij brez veziv, lepil ali organskih ostankov.
- Zmožnost zadrževanja submikronskih delcev do 0,5 μm, kar preprečuje, da bi mikrokontaminacija dosegla procesne komore ali rezine.
- Brez izločanja delcev, kar zagotavlja stabilno število delcev pri dolgotrajni uporabi.
2. Robustna mehanska in toplotna stabilnost
- Popolnoma kovinska zasnova prenese visok tlak, visoko temperaturo in pogoste toplotne cikle.
- Ohranja mehansko celovitost v pogojih vibracij, povratnega toka ali pulziranja tlaka-, ki so običajni v sistemih za distribucijo plina.
- Združljivo s sledenjem toplote za visokotemperaturne plinovode.

3. Ponovno čiščenje in regeneracija
- Filtrirne elemente je mogoče splakniti, ultrazvočno očistiti ali speči v vakuumu, kar omogoča dolgo življenjsko dobo v primerjavi s polimernimi ali keramičnimi filtri.
- Običajni življenjski cikel se podaljša do 5–10-krat več kot pri filtrih PTFE ali PVDF za enkratno uporabo, kar zmanjša čas izpada in skupne stroške lastništva.
4. Kemična združljivost in odpornost proti koroziji
- 316Nerjavno jeklo L ohranja pasivni oksidni film v okoljih klorida, fluora, amoniaka in kislih plinov.
- Nereaktivna površina preprečuje ekstrakcijo kovinskih ionov ali spremembe sestave plina.
aplikacije
1. Distribucijski plinovodi UHP
- Nameščen v nosilcih za dostavo plina, plinskih omaricah in ploščah VMB/VMP, filtriranje delcev, preden plin vstopi v MFC ali procesna orodja.
- Uporablja se v N₂, Ar, H₂, He, O₂, NH3, CF₄ in drugih plinovodih visoke čistosti, ki napajajo kritične procese.
2. Zaščita vhoda krmilnika masnega pretoka (MFC).
- Preprečuje kontaminacijo z delci in obrabo ventilov v natančnih krmilnikih masnega pretoka.
- Izboljša dolgoročno stabilnost pretoka in doslednost kalibracije MFC-jev.
3. Procesna komora in dovod plina za orodje
- Zagotavlja dostavo brez delcev in vlage v CVD, ALD, jedkalne in difuzijske peči.
- Uporablja se v linijah SiH₄, WF₆, BCl₃, PH₃ in TEOS, kjer je čistost ključnega pomena za kakovost filma in izkoristek.
4. Posebni plinski in predhodni sistemi
- Za kovinsko-organske pline ali pline na osnovi halogenov, kjer sta kemična inertnost in temperaturna stabilnost ključnega pomena.
- Pogosto se postavi za uparjalniki ali mehurčki za zajemanje kondenziranih delcev ali kapljic.
Kontaktirajte nas
Tel.: 0917-3873009
Telefon: +86 18992731201
E-pošta:zhangjixia@bjygti.com
Faks: 0917-3873009
Naslov: No. 195, Gaoxin Avenue, High-tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Kitajska
Whatsapp: +86 18992731201
Priljubljena oznake: Filtrirni vložki iz nerjavečega jekla 5 mikronov z vmesniki vcr 1/2", Kitajska, dobavitelji, proizvajalci, po meri, uporaba, cenik, naprodaj, na zalogi, brezplačen vzorec, porozen material
-
Kovinski filter iz sintranega titanaPrikaži več> -
Sintrana porozna plošča iz titanaPrikaži več> -
Prašno sintran majhen filtrirni element SUS 316LPrikaži več> -
Porozni Ti elementi za zaščitni pokrov senzorja temperatu...Prikaži več> -
40um SS316L Sinted Sinted Me kovinska žična mrežana kartušaPrikaži več> -
Filtrirni element iz poroznega titana s šesterokotno maticoPrikaži več>













