10µm Titanijev sinterirani filter za polprevodniški izpuh podjetja TOPTITECH je izdelan iz visokochistega titanovega prahu z uporabo posebnega sinteriranja. Ima natančno kontrolirano mikronsko stopnjo porozne strukture in učinkovito zajame delce onesnaževal v izpušnem plinu polprevodniškega procesa. Njegov edinstven gradientni dizajn filtracije dosega učinkovito zadrževanje delcev od 0,2 do 10 μm ter ohranja odlično prepustnost plina. Prirojena odpornost na korozijo titanovega materiala omogoča odpornost proti kislim/alkalnim komponentam v izpušnem plinu procesa, kar zagotavlja stabilno in zanesljivo filtracijsko zmogljivost pri dolgotrajni uporabi.

Kot zadnja obrambna linija za obdelavo izpušnih plinov v proizvodnih procesih polprevodnikov ta filterni element lahko učinkovito ščiti enote vakumske črpalke in opremo za obdelavo izpušnih plinov ter znatno zmanjša tveganje za kontaminacijo delcev v čistih prostorih. Njegov kompaktni dizajn je še posebej primeren za integracijo v sisteme obdelave izpušnih plinov opreme za polprevodnike z omejenim prostorom in je idealna izbira za izboljšanje izkoristka čipov in zanesljivosti opreme.

Specifikacije izdelkov

Material: titanov prah
Premer: 60 mm
Dolžina: 90 mm
Natančnost filtra: 10 µm
Proces: sinteriranje

Lastnosti izdelkov

Ultra-nizka zračna upornost
Optimizirana struktura por kanala zmanjša zračno upornost za 30%, hkrati pa zagotavlja natančnost filtracije in zmanjšuje vpliv na procesno zračno strujanje.

Zmogljivost proti trku delcev
Posebej okrepljena površinska struktura lahko vzdrži udarce visokih hitrosti delcev in se izogne težavam s poškodbami površine, ki so pogoste pri tradicionalnih materialih filtrov.

Termalna odpornost proti udarcem
Po posebnem postopku toplotne obdelave lahko vzdrži hitre spremembe temperature 200 °C/min ter se prilagodi pogostim termičnim ciklom v polprevodniških procesih.

Modularna hitra montaža
Vmesnik sprejema standardno ali prilagojeno zasnovo, ki omogoča hitro razstavljanje in sestavljanje s strani ene osebe ter zagotavlja zanesljive tesnilne zmogljivosti v težkih delovnih pogojih.

Uporaba izdelka

Zaščita naprav za optične naprave visoke natančnosti
Uporablja se v optičnih sistemih, kot so laserji in visokoprecizne leče, za učinkovito prestrezanje okoljskih delcev in zagotavljanje čistosti optičnih površin.

Sistem kontrole goriva za vesoljska plovila
Prilagodi se satelitskim in vesoljskim pogonskim sistemom za zanesljivo filtracijo nečistoč goriva v zahtevnih vesoljskih okoljih.

Filtracija končne priprave ultrapure vode
Kot zadnja ovira elektronskih sistemov ultrapurifikacije vode zagotavlja, da voda ustreza standardom čistosti polprevodnikov.

Obdelava plina za gorivne celice
Uporablja se za nadzor plina vodikovih gorivnih celic, učinkovito prestrezanje delcev za zastrupitev katalizatorjev in podaljšanje življenjske dobe baterij.

Filtracija sistema hlajenja s superprevodnostjo
Filtrirajte hladilno sredstvo v opremi s superprevodnostjo pri nizkih temperaturah, da zagotovite stabilno delovanje sistema pri ekstremnih temperaturah.

Hidravlična filtracija opreme za globoko morje
Zdrži okolje visokega tlaka morske vode in zagotavlja dolgoročno in stabilno garancijo filtracije za hidravlični sistem detektorjev globokomorske opreme.